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    微濾

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    多晶硅的生產技術主要為改良西門子法和硅烷法。西門子法通過氣相沉積的方式生產柱狀多晶硅,為了提高原料利用率和環境友好,在前者的基礎上采用了閉環式生產工藝即改良西門子法。晶核長成晶面取向不同的晶粒,形成多晶硅。多晶硅(polycrystallinesilicon)有灰色金屬光澤,密度2.32~2.34g/cm3。熔點1410℃。沸點2355℃。溶于氫氟酸和硝酸的混酸中,不溶于水、硝酸和鹽酸。北京惠源三達北京水處理設備公司為此對多晶硅超純水處理提供了解決方案。

    制備多晶硅超純水設備的工藝流程

    多晶硅-單晶硅超純水處理的工藝大致分成以下3種:

    1、采用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式,其基本工藝流程為:

    多晶硅超純水設備解決方案

    原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

    2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

    3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業超純水的的方式,這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環保,經濟,發展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

    到目前為止,我國對于電子行業的水質分為了5個等級,它們分別是18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,北京惠源三達北京水處理設備公司的超純水設備能滿足以上所有要求。

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